ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標準規(guī)范

　　注：①每個采樣點應(yīng)至少采樣3次;

　?、诒緲藴什贿m用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性;

　?、鄹鶕?jù)工藝要求確定1~2種粒徑;

　?、芨鞣N要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定，要求的粒徑在0.1~5μm范圍，包括0.1μm及5μm。

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。

　　N——潔凈度等級，數(shù)字不超出9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。

　　D——要求的粒徑(μm)。

　　0.1——常數(shù)，其量綱為μm。

　　美國聯(lián)邦標準